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介質膜球面反射鏡

產品簡介

    球面反射鏡(sphericalmirror)是指反射面是球面的反射鏡,分成凹面鏡和凸面鏡兩種。

    根據受光面的凹凸,分成凹面鏡和凸面鏡兩種,兩者的第一焦點都和第二焦點重合,凹面鏡中焦點是實的。凸面鏡中焦點是虛的。其成像公式是:si為像距,so為物距,r為曲率半徑,三個量各以球面頂點為起點。凹面鏡常用來聚光或成像,如幻燈機和放映機用它作聚光鏡,一些反射式的望遠鏡用它作物鏡。由于物在凸面鏡前任何位置,所得到的都是縮小正立的虛像,所以凸面鏡常用作汽車上的觀察鏡。

    兩種介質的分界面為球面的一部分,物光線經界面反射成像,這就是球面反射成像。 在球面上鍍以高反射率的膜,制成球面鏡,其成像也是球面反射成像。

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2球面反射鏡


鍍膜類型反射膜



生長車間生長車間13文字切割1130銑磨車間4拋光車間標題22444鍍膜車間標題114非球車間12干涉儀340

球面

    球面反射鏡(sphericalmirror)是指反射面是球面的反射鏡,分成凹面鏡和凸面鏡兩種。

    根據受光面的凹凸,分成凹面鏡和凸面鏡兩種,兩者的第一焦點都和第二焦點重合,凹面鏡中焦點是實的。凸面鏡中焦點是虛的。其成像公式是:si為像距,so為物距,r為曲率半徑,三個量各以球面頂點為起點。凹面鏡常用來聚光或成像,如幻燈機和放映機用它作聚光鏡,一些反射式的望遠鏡用它作物鏡。由于物在凸面鏡前任何位置,所得到的都是縮小正立的虛像,所以凸面鏡常用作汽車上的觀察鏡。

    兩種介質的分界面為球面的一部分,物光線經界面反射成像,這就是球面反射成像。 在球面上鍍以高反射率的膜,制成球面鏡,其成像也是球面反射成像。

   反射鏡是最常用的光學元件之一。在小型實驗室裝置、工業應用以及大型光學系統中都會使用到反射鏡。反射鏡利用反射原理來改變光的方向、聚焦和收集光。反射鏡由直接沉積在基底(比如玻璃)上的金屬膜或者介質膜組成,普通反射鏡是在玻璃后表面鍍膜。光學反射鏡的反射表面可能受到環境條件的影響。因此,選擇反射鏡時必須考慮耐久性和抗損傷性,以及反射鏡對特定波長的反射程度。本文介紹反射的基本原理,并討論反射鏡的重要光學屬性。

    反射面可以是前表面,也可以是后表面。日常生活中用的鏡子,其反射面是后表面,用于重要技術上的反射鏡,大多數的反射面是前表面。光學中平面鏡是惟一能成完善像的光學元件,它不改變光束的同心性質,經平面鏡反射后,發散的同心光束仍是發散的同心光束,會聚的同心光束仍是會聚的同心光束。

球面反射成像

凹面鏡的反射成像

成像公式

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焦距公式 

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    橫向放大率

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物點在焦點之內,凹面鏡成虛像

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物點在焦點之外,凹面鏡成實像 

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凸面鏡的反射成像


    成像公式和橫向放大率公式與凹面鏡相同   

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凸面鏡的焦點

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凸面鏡成像光路圖

特性

    為應用選擇合適的反射鏡需要考慮許多因素,包括反射率、激光損傷、鍍膜的穩定性、基底的熱膨脹、波前畸變、光的散射和成本。反射鏡的特性取決于光學鍍膜、基底和表面質量。鍍膜決定了鏡子的反射率和穩定性,是反射鏡最關鍵的部件。反射鏡膜通常由金屬材料或者介電材料制成。反射鏡較為常見的應用情況是光從空氣(n1 = 1)入射到材料膜層上時,由上面公式給出的反射率僅取決于材料的折射率(n2)。由于其導電性,金屬材料的折射率為復數,在很寬的波長范圍內虛部很大。這產生了對波長不敏感的高反射率,使得金屬反射鏡具有光澤外觀。金屬膜層通常由銀、金或者鋁制成,得到的反射鏡可以在很寬的光譜范圍內使用。金屬膜層相對較軟,因而容易損壞,清潔時必須特別小心。電介質膜層的反射鏡更耐用,更易于清潔,且損傷閾值更高。然而,由于其色散作用且折射率主要是實部,電介質反射鏡的反射光譜窄,通常用于 VIS 和 NIR 光譜區域。與金屬膜層相比,電介質膜層的設計具有更大的靈活性。與金屬反射鏡相比,電介質反射鏡能夠在某些光譜范圍內提供更高的反射率,并可提供定制的光譜響應。

截圖20220818100915

    在沉積光學膜層之前,必須對基底表面進行研磨并且拋光成合適的形狀(平面或者曲面)。特定的應用需要特定的反射鏡參數,反射鏡的表面質量和平整度決定了其保真度。表面平整度通常以波長為單位,例如,在鏡子的整個可用面積上,平整度為 λ /10。當保持波前至關重要時,應該選擇平整度為 λ /10—λ /20 的反射鏡,而要求較低的應用可以選擇平整度為 λ /2—λ /5 的反射鏡,相關的成本也隨之降低。表面質量通常取決于表面上隨機局部缺陷的嚴重程度。這些通常根據“劃痕和麻點”規格來量化,例如,20-10,取值較低表示表面質量更高,因而散射更低。對于高精度表面,例如激光腔內的表面,可能需要10-5 的劃痕- 麻點規格,產生的散射光非常少。根據不規則性、表面粗糙度和外觀缺陷的表面拋光公差,使用最先進的計量設備來驗證。這些相同的參數和程序可用來評估其他光學元件(如透鏡或者窗片)的質量和平整度。

介質反射膜

    介質膜基本是一維光子晶體形成了一個帶隙,在這個帶隙內光不支持傳播就發生全反射了。要區別介質膜反射鏡和金屬反射鏡,我們首先討論一下單純的介質和金屬的區別是什么。

    在電磁波傳播中決定電磁波傳播性質的就是介電常數,介電常數的實部對應于光傳播時候的電場振幅的比例,而虛部則對應于光的能量損耗。

    金屬和介質最大的區別在于,金屬的介電常數可以用Drude模型描述,一般是一個負的實部和比較大的虛部;而介質的介電常數則一般是一個正的實部。

    既然金屬有比較大的虛部,就會導致有損耗,光在經過金屬反射的時候就會被吸收,反射率可能只達到98、99;而介質則不會,因此特定條件下,反射率能達到真正的百分百。

    空氣也是一種介質,空氣入射介質發生反射,由于是介質(介電常數較?。┑焦饷芙橘|(介電常數較大)有半波損失,導致電磁波震蕩損失一個相位;而空氣入射金屬時理想情況發生反射必定會產生相位差。

    那么,多層膜的反射又是怎么回事呢?

    介質膜反射鏡是將一系列介電常數有區別的介質周期性堆疊在一起,在普通的均勻介質里,頻率和波長的乘積是光速,這就是所謂的色散關系。周期性邊界條件導致色散關系在倒空間(坐標以為量度)中被折疊,并且因為在布里淵區的邊界上散射比較強,就會打開帶隙。

    因此,以這個頻率入射的光,直接就被結構反射出去了。這樣的反射依舊繼承了介質的優勢——不會吸收。

    為什么要采用這樣的結構呢?

    首先,是覆蓋的波長范圍是可設計的,而金屬由于本身的原子性質(介電常數),所對應的反射波段是固定的;

    其次,由于完全不吸收,只要層數足夠,反射率就極高。但是這種結構也有缺陷:①介質膜反射鏡會很厚;②角度依賴很強;③介質膜反射鏡成本會較高,而金屬膜反射鏡則沒有這個要求。所以在反射的波段要求、熱效應要求不高的情況下,選擇金屬反射鏡更加合適。

介質膜曲線:

一般指標:R>99.5%@可見光或指定波段

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高反射膜

金屬鏡(Metallic Mirror)

    成本較低,反射波段較寬。

    一般用于反射率要求不是特別高,但是波段很寬的應用。

    因為存在部分吸收,因此限制了其在激光領域的應用。

全介質反射鏡(Dielectric HR coatings )

    成本較高,反射波段較窄。

    反射率可以做到很高。

    反射波段范圍有限,如加大反射波段范圍,膜層鍍制難度將提高。

    膜層較厚,應力較大,存在膜層脫落風險。

截圖20220708140407

鍍膜基片

    指在什么材質上鍍膜?;淄鞘褂铆h境和用途決定。常見的鍍膜基底選擇? 如氣體分析保護金多用氟化鈣基底,普通反射鏡用浮法玻璃,激光腔鏡用硅基底,紅外濾光片多用硅鍺,可見及近紅外多是玻璃,無氧銅多是鎳和金等。

    氟化鈣,氟化鋇,氟化鎂,藍寶石,鍺,硅,硫化鋅,硒化鋅,硫系玻璃,N-BK7,熔融石英等

鍍膜材料

    附著在基底上的起到透射,反射,分光等作用的材料,可能是光學材料如硫化鋅、氟化鎂等,也可能是金屬,如鋁金等。目前成熟大批量光學鍍膜材料多是顆粒狀或是藥片狀,也有整塊晶體鍍膜靶材;金屬鍍膜材料多是絲及塊狀;基底,用途,和鍍膜指標決定用什么鍍膜材料。

鍍膜工藝

光學鍍膜概念及原理

    鍍膜是用物理或化學的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質膜,或鍍一層金屬膜,目的是改變材料表面的反射和透射特性,達到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學鍍膜。光學零件表面鍍膜后,光在膜層層上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜層的折射率和厚度,可以得到不同的強度分布,這是干涉鍍膜的基本原理。

鍍膜

光學薄膜分類:

    增透膜:硅、鍺、硫化鋅、硒化鋅等基底較多,氟化物較為少見。

    單波長、雙波長、寬帶

    反射膜:分介質與金屬反射膜,金屬反射膜一般為鍍金加保護層。

    半反射、單波長、雙波長、寬帶

    硬碳膜 :也叫DLC膜,一般鍍在硅、鍺、硫系玻璃外表面,做保護/增透作用, 產品另一側一般要求鍍增透膜。 

    分光膜 :有些要求特定入射角情況下,可見光波段反射,紅外波段透過,多用于光譜分析中。

    45度分光片、雙色分束、偏振分束片&棱鏡

    濾光膜:寬帶、窄帶

    激光晶體膜:YAG/YV04/KTP/LBO/BBO/LIND03

    紫外膜-增透:193/248/266/308/340/355,鋁反射180-400nm 

    紅外膜:CO210.6UM/YAG2940NM/SI&GE&ZNSE&ZNS

鍍膜工序和設備

清洗設備:

    超聲波清洗機:指清洗和烘干一體化的,可直接裝盤鍍膜。同時這個機器必須在潔凈空間使用;

光學鏡片的超聲波清洗技術

    在光學冷加工中,鏡片的清洗主要是指鏡片拋光后殘余拋光液、黏結劑、保護性材料的清洗;鏡片磨邊后磨邊油、玻璃粉的清洗;鏡片鍍膜前手指印、口水以及各種附著物的清洗。

    傳統的清洗方法是利用擦拭材料(紗布、無塵紙)配合化學試劑(汽油、乙醇、丙酮、乙醚)采取浸泡、擦拭等手段進行手工清擦。

這種方法費時費力,清潔度差,顯然不適應現代規?;墓鈱W冷加工行業。這迫使人們尋找一種機械化的清洗手段來代替。于是超聲波清洗技術逐步進入光學冷加工行業并大顯身手,進一步推動了光學冷加工業的發展。

    超聲波清洗技術的基本原理,大致可以認為是利用超聲場產生的巨大作用力,在洗滌介質的配合下,促使物質發生一系列物理、化學變化以達到清洗目的的方法。

    當高于音波(28~40khz)的高頻振動傳給清洗介質后,液體介質在高頻振動下產生近乎真空的空腔泡,空腔泡在相互間的碰撞、合并、消亡的過程中,可使液體局部瞬間產生幾千大氣壓的壓強,如此大的壓強使得周圍的物質發生一系列物理、化學變化。

工藝流程:

  鍍膜流程

等離子增強化學氣相沉積 (PECVD):

    是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。因為利用了等離子的活性來促進化學反應,PECVD可以在較低的溫度下實現

粒子輔助


等離子輔助氣相沉積

    目前DLC膜常用制備方法。采用射頻技術(RF-PACVD)將通入的氣體(丁烷、氬氣)離化,在極板自偏壓(負)的吸引下,帶正電的粒子向基板撞擊,沉積在基板表面。

原理圖


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